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各種薄膜測(cè)厚儀的在線和非在線測(cè)量方法
薄膜厚度是否均勻一致是檢測(cè)薄膜各項(xiàng)性能的基礎(chǔ),薄膜測(cè)厚儀分為在線和非在線測(cè)量?jī)煞N方式。在線測(cè)量一般選用光學(xué)透過(guò)率原理的真空鍍膜在線測(cè)厚儀,非在線測(cè)量一般選用體積小巧的涂層測(cè)厚儀。